Communication Dans Un Congrès
Année : 2014
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Soumis le : jeudi 22 décembre 2016-16:27:44
Dernière modification le : mardi 16 novembre 2021-10:40:04
Citer
Mohamed Guellil, Paul C. Montgomery, Pierre Pfeiffer, Bruno Serio. Comparison of areal measurements of the same zone of etched Si and hydroxyapatite layers on etched Si using different profiling techniques. Proceedings of SPIE Optical Micro- and Nanometrology V, Brussels, Belgium, April 14, 2014, Apr 2014, Bruxelles, Germany. pp.913204--913204--9, ⟨10.1117/12.2051476⟩. ⟨hal-01421675⟩
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